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实时设备健康监测可保持真空室的真空度并在出现异常时立即发出警报，从而提高晶圆质量。
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水和能源基准测试旨在减少排放和负责任地用水。
通过持续监控生产数据并使用数据来优化预测性维护模型，提高机器健康状况的可预见性。
