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陶瓷电容式测量元件

陶瓷电容式测量元件由基体、2个电容器层、1个玻璃焊层和1个膜片组成。
基体上的电容器层和膜片类似于平行板电容器,并形成测量电容器和参考电容器。当施加压力时,膜片和基体间的距离发生变化,并导致电极间的电容相应发生变化。该电容变化将经过评估并处理为行业中常用的信号。

特点:

  • 压力测量范围为100 mbar到600 bar,真空到-1 bar
  • 极为坚固,且耐压和破裂压高
  • 无漂移运行超过1亿次压力循环
  • 长期稳定性和重复精度高
  • 干式测量元件,无填充介质

优点:

  • 陶瓷不会老化或疲劳(长期稳定性)
  • 耐受动态的压力尖峰和气蚀
  • 温度对陶瓷测量元件的影响极低
  • 耐化学品性高
  • 当发生过压时,反电极(基座)能为膜片提供支撑

缺点:

  • 需要弹性密封件 - 仅适用于25 bar以下压力的气体
  • 测量元件在传感器中的安装结构较为复杂,因此需要更大的外壳和更高的成本。

不锈钢应力计测量元件

在这类测量元件中,采用电阻器形式的应力计固定在不锈钢膜片的背面,作为惠斯通电桥连接。可以采用厚膜或薄膜设计。一旦测量元件加压,膜片就会变形。这会导致桥接电路的输出信号按比例发生变化,且该变化由电子装置测得并转化为行业中常用的输出信号。

特点:

  • 压力测量范围范围从6 bar到600 bar
  • 适用于压力高达600 bar的气体
  • 长期稳定性

优点:

  • 外形小巧,对边宽度为19或22 mm
  • 无密封安装,测量元件焊接在过程连接件上
  • 破裂压高
  • 适合大批量使用

缺点:

  • 耐过载能力低于陶瓷电容式测量元件
    ⇒ 强烈建议在涉及动态压力和气蚀的应用中使用阻尼元件

压阻式测量元件

这类测量元件利用压阻效应进行测量。压阻效应指的是材料的电阻随压力或张力而变化。电阻变化将由桥接电路记录并转化为行业中常用的输出信号。压阻式硅测量元件粘连在带有涂层并耐受通用介质(污染空气、油、水、冷却润滑剂等)的印刷电路板上。

特点:

  • 适用于气动传感器
  • 可进行差压测量

优点:

  • 价格优惠
  • 尺寸小

缺点:

  • 不耐受腐蚀性介质